中微公司 ICP 刻蚀设备 Primo nanova 第 100 台反应腔交付空心计

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发布时间:2021-06-15 15:22

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中微公司 ICP 刻蚀设备 Primo nanova 第 100 台反应腔交付

2021/6/13 22:13:35来源:IT之家作者:懒猫责编:懒猫

IT之家 6 月 13 日消息 从中微公司获悉,空心计6 月 9 日,中微半导体设备(上海)股份有限公司在上海总部举办电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备 Primo nanova 第 100 台反应腔交付客户庆祝仪式。

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